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重庆西部科学城发布我国首个自主180纳米硅光工艺 开启光电子集成新篇章

重庆西部科学城发布我国首个自主180纳米硅光工艺 开启光电子集成新篇章

重庆西部科学城传出振奋人心的消息:由本地科研团队主导研发的我国首个自主开发的180纳米成套硅光工艺取得重大突破,并已通过技术验证,标志着我国在硅基光电子这一前沿核心领域实现了从工艺到器件的完整自主创新突破。这一成果不仅填补了国内空白,也为我国信息光电子产业的发展注入了强劲动力。

硅光技术,即在硅衬底上集成光电子器件,是未来高速通信、高性能计算、人工智能及量子信息等领域的底层关键技术。长期以来,高端硅光工艺及核心知识产权主要掌握在国外少数企业手中,成为制约我国相关产业发展的瓶颈。重庆科研团队此次突破的180纳米成套硅光工艺,涵盖了从工艺设计工具包(PDK)、关键工艺模块到流片验证的全链条,具备了面向产业的设计与制造能力。

此次研发由重庆西部科学城内的高校、科研院所与高新技术企业协同攻关完成,属于“工程和技术研究和试验发展”的重要范畴。团队攻克了硅基光波导低损耗刻蚀、高效率光电调制器与探测器集成、异质材料键合等一系列技术难题,工艺线达到了可量产的技术成熟度。基于该工艺平台,已成功流片并验证了多款高速光调制器、光开关及波分复用器件,性能指标达到国际先进水平。

业内专家指出,该成果的产业化应用前景十分广阔。它将极大降低国内企业研发硅光芯片的门槛和成本,加速光通信模块(尤其是用于数据中心的高速光模块)的国产化替代进程。该平台为研制更复杂的光电集成芯片(如激光雷达芯片、光子计算芯片)提供了可靠的工艺基础,将有力助推重庆乃至全国在自动驾驶、人工智能等新兴赛道构建核心竞争力。

重庆西部科学城作为西部重要的科技创新策源地,已将光电子产业列为重点发展的主导产业之一。此次重大突破是科学城聚焦国家战略需求、深化科技体制改革、推动产学研深度融合的典型成果。它不仅是重庆打造具有全国影响力的科技创新中心进程中的一座里程碑,也为西部地区的产业转型升级和高水平科技自立自强树立了标杆。随着该工艺平台的不断完善与迭代,以及更多创新主体的参与,我国在全球硅光领域的竞争中将赢得更多主动权。

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更新时间:2026-04-10 19:06:14

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